電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)

この装置について


- クリックで拡大します -
高分解能であることに加え、焦点深度が深く、広範囲に焦点の合った立体的な像を得ることができます。主に薄膜の表面・断面、金属材料の破断面観察、微小領域での局所分析などに対応します。

用途・特徴について

材料の表面形態観察を三十倍から数十万倍の範囲で観察できます。
光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡(STEM)観察が可能です。

立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

♦ 薄膜の表面・断面観察
♦ 破面観察
♦ 微小領域での局所分析

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 機器使用 , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *機器使用の詳細については[海老名本部][溝の口支所]をそれぞれご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
K1010電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 5万倍以下観察倍率5万倍以下 1条件につき19,800
K1015電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   5万倍以下 条件追加観察倍率5万倍以下 1条件追加につき4,400
K1020電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   5万倍を超えて10万倍以下観察倍率5万倍を超えて10万倍以下 1条件につき28,600
K1025電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   5万倍を超えて10万倍以下 条件追加観察倍率5万倍を超えて10万倍以下 1条件追加につき8,800
K1030電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   10万倍を超えるもの観察倍率10万倍を超えるもの 1条件につき50,600
K1035電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   10万倍を超えるもの 条件追加観察倍率10万倍を超えるもの 1条件追加につき14,300
K1050電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) SEM観察 10~15視野1試料の観察視野が10~15視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)110,000
K1052電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) SEM観察 16~30視野1試料の観察視野が16~30視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)165,000
K1055電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) SEM観察 条件追加1条件追加につき11,000
K1040FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS)1条件につき14,300
K1041FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 条件追加1条件追加につき4,400
K1042FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 面分析面分析1条件につき15,400

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
K2015FE-SEM/EDS S-4800 (1時間あたり)日立ハイテクノロジーズ S-480038,500

メーカー

株式会社日立ハイテクノロジーズ

型番

S-4800

仕様

FE-SEM二次電子像分解能 : 1.0nm(15kV),1.4nm(1kVリターディングモード) 試料交換サイズ : 100mm径(最大)
EDSEDAX Genesis2000
その他透過電子検出器,EBIC像観察ユニット

導入年度

2014

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
  • その他の技術相談はこちらから
  •