スピンコーター

用途・特徴について

フォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の塗布(スピンコート)

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E1191高精度フォトリソグラフィ1枚につき24,310
E1192高精度フォトリソグラフィ 1枚増 1枚増すごとに8,690
E1201電子線リソグラフィ試料調製1試料につき8,910

メーカー

ミカサ株式会社

型番

本体1H-DX2型

仕様

試料ホルダ4インチ角、3インチ○、2インチ○、10ミリ角/設置環境 クリーンルーム(クラス1,000)、イエロールーム、有機溶剤用ドラフト内

導入年度

1997

 

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  • 担当:電子技術部 電子材料グループ
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