イオンプレーティング装置

用途・特徴について

金属、合金、酸化物、窒化物の成膜 表面処理

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

メーカー

株式会社昭和真空

型番

SIP-700

仕様

到達真空度:2×10-5Pa以下基板加熱温度:600℃蒸着用電子銃:3元、10kw高周波電圧:2kwバイアス電圧:3kwバイポーラパルス

導入年度

2002

 

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  • 担当:電子技術部 電子材料グループ
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