電子線マイクロアナライザ(FE−EPMA)

この装置について


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EPMA(Electron Probe Micro Analysis)は試料に電子線を照射した際に発生する特性X線の波長を分光することによって試料表面の構成元素やその分布を分析する手法です。製品の変色、異物混入、腐食、接点不良、めっき・塗膜の剥離、破損など、故障解析で対応可能な内容は多岐にわたります。

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EPMA(Electron Probe Micro Analysis)は試料に電子線を照射した際に発生する特性X線の波長を分光することによって試料表面の構成元素やその分布を分析する手法です。製品の変色、異物混入、腐食、接点不良、めっき・塗膜の剥離、破損など、故障解析で対応可能な内容は多岐にわたります。

用途・特徴について

EPMAは、局所領域の元素分析が可能なこと、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材料を対象とすることができることから、鉄鋼・非鉄金属、自動車、電子部品・半導体、化学、資源エネルギー、地質分野など幅広い分野で活用されています。
当所が保有する装置は電界放射型(Field Emission : FE)の電子銃を備えるFE-EPMAであり、サブミクロンオーダー (試料の状態により、0.1–0.3 µm程度)の空間分解能を有し局所領域の解析に活用されます。

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E2541電子線マイクロアナライザ観測1試料につき27,830
E2542写真撮影 (二次電子像、反射電子像)1試料につき23,650
E2543写真撮影 (二次電子像、反射電子像) 1ヶ所増同一試料で1ヶ所増すごとに5,500
E2550電子線マイクロアナライザ観測  追加分析同一箇所での測定につき(E2541に適用) 8,580
E2551電子線マイクロアナライザ観測 1成分増1成分増すごとに2,860
E2560電子線マイクロアナライザ観測 試料調整1試料につき61,160

メーカー

日本電子株式会社

型番

JXA-8500F

仕様

加速電圧1~30kV/WDX4ch/分析元素B~U
試料調整用付属装置:クロスセクションポリッシャ(CP)

導入年度

2004

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:機械・材料技術部 解析評価グループ
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