膜厚計(小坂研究所・ET4000AKR)

用途・特徴について

薄膜の厚さ測定。表面粗さ測定(3次元)

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 機器使用 で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *機器使用の詳細については[海老名本部][溝の口支所]をそれぞれご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E1050膜厚測定 1試料1測定点につき5,390
E1051三次元微細形状測定標準1測定当たり11,660

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
E8150膜厚計小坂研究所 ET4000AKR2,860

メーカー

株式会社小坂研究所

型番

ET4000AKR

仕様

サンプルサイズ:210×210×50mmtX軸(測定長):100mmスケール分解能:0.01μmY2軸(連続測定長):10mmステップ量:0.1μmZ軸(上下動)52mm検出器:最大範囲 100μm測定力 0.5μN?500μN分解能 0.1nm(±3.2μmレンジ)

導入年度

2006

 

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  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ
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