表面構造解析評価装置(SEM用EDX装置)

用途・特徴について

試料表面に含まれる元素の種類やその面内分布を調べることができます。

ご利用方法

試験計測(依頼試験) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E0021元素分析(E0011~E0018に適用)1ヶ所につき6,710

メーカー

日本電子株式会社

型番

JSM-6320F用

仕様

分析元素B~U/分解能133eV

導入年度

2008

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:機械・材料技術部 ナノ材料グループ
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