微小部X線光電子分光分析装置

この装置について


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本装置 は、試料にX線を照射し、試料表面から放出される光電子のエネルギーを測定することにより、表面の組成並びに化学結合状態に関する情報を得る装置です。

用途・特徴について

ロボットの関節に使う摩擦摩耗特性に優れた摺動材、効率の良い燃料電池やリチウム電池電極、生体適合性の高い材料の開発を支援します。
プラスチック材料・セラミック材料・金属製品の表面の変色、腐食などの不具合を分析することにより、故障解析を行います。
・最小ビーム径: 10μm以下
・最高エネルギー分解能: 0.5eV以下 (Ag3d 5/2)
・最大感度: 1000000cps (Ag3d 5/2 の半値幅 1.0eVのとき)
・到達圧力: 6.7×10-8Pa以下
・オプション: 加熱冷却ステージ

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E1980微小部X線光電子分光分析 (ワイドスキャンのみ)1試料1ヶ所につき13,750
E1982微小部X線光電子分光分析 (ワイドおよびナロースキャン) 1試料1ヶ所につき(6元素まで)20,350
E1984微小部X線光電子分光分析(面分析,線分析)1試料1ヶ所につき(5元素まで)21,230
E1986微小部X線光電子分光分析(深さ方向分析)1試料1ヶ所につき(6元素まで)32,120
E1990微小部X線光電子分光分析 条件増1条件増すごとに4,950
E1992微小部X線光電子分光分析 元素増(1)1元素増すごとに(No1982,1984に適用)4,180
E1994微小部X線光電子分光分析 元素増(2)1元素増すごとに(E1986に適用)6,380

メーカー

アルバック・ファイ株式会社

型番

VersaProbeⅡ

導入年度

2013

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:機械・材料技術部 解析評価グループ
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