高分解能走査電子顕微鏡
この装置について
電界放射(フィールドエミッション:FE)型の電子銃を備えた高分解能走査電子顕微鏡です。観察している箇所の元素分布や結晶構造の解析が可能な付属機器が装着されており、試料の形状だけでなく物質の状態を総合的に知ることができます。
用途・特徴について
10万倍以上の高倍率での観察においても鮮明な画像を得ることができます。エネルギー分散型分光分析(EDS)装置と後方散乱電子線回折(EBSD)装置を備え、同一の観察視野に対して元素分布と結晶方位分布の同時測定が可能です。ご利用方法
試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。*試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (試験計測料金)
項目番号 | 項目 | 単位 | 手数料(円) |
---|---|---|---|
E0011 | 走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍以下 | 1試料1視野観察につき | 20,240 |
E0012 | 走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍以下 1視野追加 | 1視野追加観察につき | 4,400 |
E0013 | 走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍を超えて10万倍以下 | 1試料1視野観察につき | 29,260 |
E0014 | 走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍を超えて10万倍以下 1視野追加 | 1視野追加観察につき | 8,910 |
E0015 | 走査電子顕微鏡写真撮影 10万倍を超えるもの | 1試料1視野観察につき | 51,920 |
E0016 | 走査電子顕微鏡写真撮影 10万倍を超えるもの 1視野追加 | 1視野追加観察につき | 14,630 |
E0017 | 走査電子顕微鏡写真撮影 10~15視野 | 112,860 | |
E0018 | 走査電子顕微鏡写真撮影 16~30視野 | 169,290 | |
E0021 | エネルギー分散型X線分析(EDX)(E0011~E0018に適用) | 1ヶ所につき | 7,040 |
メーカー
日本電子株式会社型番
JSM-7800F Prime仕様
走査電子顕微鏡本体:JEOL JSM-7800F Prime、分解能:1.0nm(15kV)、検出器:二次電子、反射電子、最大試料サイズ:100mmΦx40mmH
エネルギー分散分光分析(EDS)装置:Oxford Instruments 社製 AZtec Energy、検出器:80mm^2 x2
後方散乱電子線回折(EBSD)装置:Oxford Instruments 社製 AZtec HKL、検出器:Nordlys Nano
導入年度
平成28年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:機械・材料技術部 材料物性グループ
- その他の技術相談はこちらから