高分解能走査電子顕微鏡

この装置について


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電界放射(フィールドエミッション:FE)型の電子銃を備えた高分解能走査電子顕微鏡です。観察している箇所の元素分布や結晶構造の解析が可能な付属機器が装着されており、試料の形状だけでなく物質の状態を総合的に知ることができます。

用途・特徴について

10万倍以上の高倍率での観察においても鮮明な画像を得ることができます。エネルギー分散型分光分析(EDS)装置と後方散乱電子線回折(EBSD)装置を備え、同一の観察視野に対して元素分布と結晶方位分布の同時測定が可能です。

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E0011走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍以下1試料1視野観察につき19,800
E0012走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍以下 1視野追加1視野追加観察につき4,400
E0013走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍を超えて10万倍以下1試料1視野観察につき28,600
E0014走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍を超えて10万倍以下 1視野追加1視野追加観察につき8,800
E0015走査電子顕微鏡写真撮影 10万倍を超えるもの1試料1視野観察につき50,600
E0016走査電子顕微鏡写真撮影 10万倍を超えるもの 1視野追加1視野追加観察につき14,300
E0017走査電子顕微鏡写真撮影 10~15視野 110,000
E0018走査電子顕微鏡写真撮影 16~30視野 165,000
E0021元素分析(E0011~E0018に適用)1ヶ所につき6,710
E0022走査電子顕微鏡試料調整(イオンミリング法)(1)(標準的なもの) 44,330
E0023走査電子顕微鏡試料調整(イオンミリング法)(2)(複雑なもの) 66,110

メーカー

日本電子株式会社

型番

JSM-7800F Prime

仕様

走査電子顕微鏡本体:JEOL JSM-7800F Prime、分解能:1.0nm(15kV)、検出器:二次電子、反射電子、最大試料サイズ:100mmΦx40mmH
エネルギー分散分光分析(EDS)装置:Oxford Instruments 社製 AZtec Energy、検出器:80mm^2 x2
後方散乱電子線回折(EBSD)装置:Oxford Instruments 社製 AZtec HKL、検出器:Nordlys Nano

導入年度

2016

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:機械・材料技術部 材料物性グループ
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