高分解能走査電子顕微鏡

この装置について

用途・特徴について

10万倍以上の高倍率での観察においても鮮明な画像を得ることができます。エネルギー分散型分光分析（EDS）装置と後方散乱電子線回折（EBSD）装置を備え、同一の観察視野に対して元素分布と結晶方位分布の同時測定が可能です。

ご利用方法

試験計測（依頼試験） , 技術開発受託（受託研究） で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料（円）
E0011	走査電子顕微鏡写真撮影　５万倍以下	１試料１視野観察につき	19,800
E0012	走査電子顕微鏡写真撮影　５万倍以下　1視野追加	１視野追加観察につき	4,400
E0013	走査電子顕微鏡写真撮影　５万倍を超えて10万倍以下	１試料１視野観察につき	28,600
E0014	走査電子顕微鏡写真撮影　５万倍を超えて10万倍以下　１視野追加	１視野追加観察につき	8,800
E0015	走査電子顕微鏡写真撮影　10万倍を超えるもの	１試料１視野観察につき	50,600
E0016	走査電子顕微鏡写真撮影　10万倍を超えるもの　１視野追加	１視野追加観察につき	14,300
E0017	走査電子顕微鏡写真撮影　10～15視野		110,000
E0018	走査電子顕微鏡写真撮影　16～30視野		165,000
E0021	元素分析（E0011～E0018に適用）	１ヶ所につき	6,710
E0022	走査電子顕微鏡試料調整(イオンミリング法)(1)(標準的なもの)		44,330
E0023	走査電子顕微鏡試料調整(イオンミリング法)(2)(複雑なもの)		66,110

メーカー

日本電子株式会社

型番

JSM-7800F Prime

仕様

走査電子顕微鏡本体：JEOL　JSM-7800F Prime、分解能：1.0nm（15kV）、検出器：二次電子、反射電子、最大試料サイズ：100mmΦx40mmH
エネルギー分散分光分析（EDS）装置：Oxford Instruments 社製 AZtec Energy、検出器：80mm^2 x２
後方散乱電子線回折（EBSD）装置：Oxford Instruments 社製 AZtec HKL、検出器：Nordlys Nano

導入年度

2016