電子デバイスパラメータ測定システム

半導体デバイスの電気パラメータの測定／半導体デバイスのC-V測定(1MHz)

メーカー名

横河ヒューレット・パッカード株式会社

型番

YHP 4063A

仕様

直流微小電流測定ユニット(分解能1fA)／直流微小電流測定用電源ユニット／直流電源測定ユニット／直流電圧源ユニット／直流高分解能電圧測定ユニット(分解能10mV)／1MHz容量測定ユニット(分解能1fF)／温度測定ユニット(分解能0.1℃)

導入年度

昭和63年度