膜厚計(日本真空技術・Dektak-3030ST)

用途・特徴について

膜厚測定/表面形状測定

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

メーカー

日本真空技術株式会社

型番

Dektak-3030ST

仕様

走査距離50μm-50mm/触針半径2.5μm/最大サンプル厚み45mm/サンプリング時間1~50秒/触針圧1~40mgf

導入年度

1992

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子材料グループ
  • その他の技術相談はこちらから
  •