マスクアライナ

【用途・特徴】
紫外線により、紫外線に反応する物質(感光性樹脂)に微細パターンを形成します。

メーカー名

ミカサ株式会社

型番

MA-20型

仕様

マスク合せ精度2μm/ウエハサイズ3インチ以下

ご利用方法

機器使用で利用できます

料金について

■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
E6690マスクアライナミカサ MA-207,590円電子技術部

導入年度

平成元年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子材料グループ