マスクアライナ

用途・特徴について

紫外線により、紫外線に反応する物質(感光性樹脂)に微細パターンを形成します。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
E6690マスクアライナミカサ MA-207,590

メーカー

ミカサ株式会社

型番

MA-20型

仕様

マスク合せ精度2μm/ウエハサイズ3インチ以下

導入年度

1989

 

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