ECRプラズマエッチング装置

用途・特徴について

ドライエッチング加工

ご利用方法

試験計測(依頼試験) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E1190ECRプラズマエッチング標準1試料当たり46,640

メーカー

株式会社ダイヘン

型番

ESQF-20L

仕様

プラズマ発生方式;電子サイクロトロン共鳴/マイクロ波出力;1KW/RFバイアス;100W/最高磁束密度;2000Gauss/試料サイズ;3inch/試料加熱温度;400℃

導入年度

1991

 

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  • 担当:電子技術部 電子材料グループ
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