ＥＣＲプラズマエッチング装置

【用途・特徴】
ドライエッチング加工

メーカー名

株式会社ダイヘン

型番

ESQF-20L

仕様

プラズマ発生方式；電子サイクロトロン共鳴／マイクロ波出力；1KW／RFバイアス；100W／最高磁束密度；2000Gauss／試料サイズ；3inch／試料加熱温度；400℃

ご利用方法

試験計測（依頼試験）で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

ＥＣＲプラズマエッチング

料金NO.	項目	単位	料金	担当部名
E1190	ＥＣＲプラズマエッチング	標準１試料当たり	49,720円	電子技術部

導入年度

平成3年度