減圧熱処理装置

用途・特徴について

減圧下において水素ガス等を導入し、加熱することにより、熱処理を行います。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

メーカー

三栄理研株式会社

型番

特別仕様

仕様

最高加熱温度1000℃/抵抗加熱方式横型炉/ウエハサイズ3インチ以下/導入可能ガス 酸素(O2)、窒素(N2)、アルゴン(Ar)、水素(H2)/クラス1,000クリーンルーム内設置

導入年度

1989

 

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