電極形成装置

素子の電極、配線を基板に形成

【用途・特徴】
アルミニウム、金、薄膜の作製

用途・特徴について

アルミニウム、金、薄膜の作製

ご利用方法

機器使用 で利用できます。

 *機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

メーカー

KHエレクトロニクス株式会社

導入年度

平成元年度
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  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ
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