電極形成装置

この装置について

素子の電極、配線を基板に形成

用途・特徴について

アルミニウム、金、薄膜の作製

ご利用方法

機器使用 で利用できます。

 *機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
E6620電極形成装置の本体システムKHエレクトロニクス 特別仕様18,480

メーカー

KHエレクトロニクス株式会社

仕様

特別仕様

導入年度

平成元年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ
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