電気炉

用途・特徴について

半導体プロセス/熱処理/酸化/拡散/シンター

ご利用方法

機器使用 で利用できます。

 *機器使用の詳細については[海老名本部][溝の口支所]をそれぞれご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
E6620電極形成装置の本体システムKHエレクトロニクス 特別仕様18,370

メーカー

光洋リンドバーグ株式会社

型番

272M100

仕様

温度400~1200℃/安定性±0.25℃/均熱長350mm/N2、O2、Ar雰囲気/炉心管直径50mm

導入年度

1988

 

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  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ
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