アッシャー装置

用途・特徴について

半導体製造プロセス装置/レジストの灰化/表面処理

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 機器使用 で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *機器使用の詳細については[海老名本部][溝の口支所]をそれぞれご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E1180アッシャーによるプラズマ処理1条件1時間につき17,270

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
E6880アッシャー装置東京応化工業 OPM-EM60012,540

メーカー

東京応化工業株式会社

型番

OPM-EM600

仕様

振周波数13.56MHz/発振最大出力500W(オートチューニング)/酸素またはCF4導入可能/
最大基板サイズ:4インチ、治具を用意いただければ多数枚処理可能です。

導入年度

1992

 

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  • 担当:電子技術部 
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