陽極接合装置
用途・特徴について
半導体と金属、またはセラミックスと金属の陽極接合。ご利用方法
機器使用 で利用できます。*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (機器使用料金)
項目番号 | 設備機器名 | メーカー・型式 | 使用料(円) |
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E6680 | 陽極接合装置 | アユミ工業 AB-40特注品 | 12,430 |
メーカー
アユミ工業株式会社型番
AB-40特注品仕様
最大印加電圧1000V/最大印加電流200mA/加熱温度500℃/温度均一性±10℃/到達真空度10-6Torr
導入年度
平成5年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ
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