陽極接合装置

用途・特徴について

半導体と金属、またはセラミックスと金属の陽極接合。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
E6680陽極接合装置アユミ工業 AB-40特注品12,430

メーカー

アユミ工業株式会社

型番

AB-40特注品

仕様

最大印加電圧1000V/最大印加電流200mA/加熱温度500℃/温度均一性±10℃/到達真空度10-6Torr

導入年度

1993

 

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