陽極接合装置

用途・特徴について

半導体と金属、またはセラミックスと金属の陽極接合。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号	設備機器名	メーカー・型式	使用料（円）
E6680	陽極接合装置	アユミ工業　AB-40特注品	12,430

メーカー

アユミ工業株式会社

型番

AB-40特注品

仕様

最大印加電圧1000V／最大印加電流200mA／加熱温度500℃／温度均一性±10℃／到達真空度10-6Torr

導入年度

1993