超深度形状測定顕微鏡(カラーレーザ顕微鏡)

用途・特徴について

3次元形状測定/膜厚測定

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 機器使用 で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *機器使用の詳細については[海老名本部][溝の口支所]をそれぞれご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E1150超深度形状測定顕微鏡による観察及び形状測定1測定1解析につき8,030
E1151超深度形状測定顕微鏡による観察及び形状測定 1解析増1解析増すごとに2,090

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
E6960超深度形状測定顕微鏡(レーザー顕微鏡)キーエンス VK85001,980

メーカー

株式会社キーエンス

型番

VK8500

仕様

観察倍率50~16000倍/リアルカラー3次元表面解析機能/表面形状測定分解能0.01μm

導入年度

2003

 

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  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ
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