低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)

この装置について

透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

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透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

用途・特徴について

極低加速エネルギー(100eV~2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 機器使用 , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *機器使用の詳細については[海老名本部][溝の口支所]をそれぞれご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
K4180低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)1試料1条件につき13,200

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
K2425低エネルギーイオン研磨装置 Model IV5(ジェントルミル) (1時間あたり)リンダ社 Model IV5(ジェントルミル)11,000

メーカー

リンダ社

型番

Model Ⅳ5

導入年度

2012

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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