簡易型走査電子顕微鏡

この装置について


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タングステンフィラメントタイプの走査電子顕微鏡(SEM)で、CCD画像(光学画像)とSEM像が連動する機能を有し、低倍率(光学)から高倍率観察(SEM)まで、同一の観察視野のまま連続的な観察が可能です(Zeromag機能)。

分解能は高真空モードで3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)、15.0nm(1kV)、低真空モードで4.0nm(30kV)です。

また、導電性の無い物質の観察に適した低真空モード(10~100Pa)での観察や、高真空モードでの観察、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)によるホウ素(B)からウラン(U)までの元素分析や観察面の元素マッピングも可能です。

さらに、複数のSEM画像を自動的に重ね合わせ、広範囲の合成画像を作成する機能(モンタージュ機能)を有しており、広範囲のSEM画像を得ることも可能です。

用途・特徴について

観察可能な最大試料サイズはΦ150mm×48mmtで、比較的大型の試料もそのまま観察することが可能です。

また、異物等の解析を行う場合は、CCD画像による広範囲の観察で異物の存在箇所を特定するとともに、特定した異物について、同一視野の拡大によるSEM観察やEDSによる元素分析を一連の作業で行うことが可能です。

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E0011走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍以下1試料1視野観察につき19,800
E0012走査電子顕微鏡写真撮影 5万倍以下 1視野追加1視野追加観察につき4,400
E0021元素分析(E0011~E0018に適用)1ヶ所につき6,710

メーカー

日本電子株式会社

型番

JSM-IT200LA

仕様

分解能(高真空モード)3.0 nm (30kV)、8.0 nm (3kV)、15.0 nm (1.0kV)
分解能(低真空モード)4.0 nm (30kV BED)
写真倍率×5~300,000
電子銃Wフィラメント
加速電圧0.5~30 kV
低真空圧力設定範囲10~100 Pa
最大試料寸法150 mm 径 × 48 mm 高さ
試料ステージXY 2軸モーター標準(ユーセントリック式) X : 80 mm Y : 40 mm z : 5~48 mm 傾斜:-10~90° 回転:360°
画像モード二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像
計測機能あり(2点間距離、平行線間隔、角度、直径等)
EDS分析スペクトル分析、線分析、元素マップ
検出可能元素Be~U

導入年度

2018

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:機械・材料技術部 ナノ材料グループ
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