表面粗さ・輪郭形状測定機

この装置について


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表面粗さ・表面形状測定機とは、対象物の表面を触針でなぞり、表面の凸凹(粗さ)を評価・測定する装置です。
形状データ(断面曲線)に各種のフィルターをかけることで粗さ曲線に変換し数値として出力します。一般的に、図面指示でよく使われているRa評価以外に、目的の機能に沿った表面性能(光沢、摩擦、摩耗、気密、接着等)に関する評価が行えます。
形状データからは、寸法測定や幾何公差の評価も可能です。三次元座標測定機の接触子では接触できない、ネジ谷底や微小な角R等の測定に利用できます。

用途・特徴について

本測定機では、3種類の検出器を選択できます。

1. 粗さ測定用検出器
おもにnm~μmの範囲で、形状データを検出し、各種フィルターをけかることで、表面粗さに関する各種評価を行います。また、断面曲線から、膜厚量や摩耗量の測定にも利用できます。

2. 表面形状測定用検出器
おもにμm~mmの範囲で、形状データを検出し、寸法測定や幾何公差の評価を行います。下方向に加え、上方向にも測定できるため、内径や外径、厚みも測定が可能です。

3. ハイブリッド検出器
1.と2.の機能を有する検出機です。おもにnm~mmの範囲で、粗さ測定と寸法測定を同時に行うことが可能です。

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 機器使用 で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E0245表面粗さ測定1試料1ヶ所につき1,430
E0255表面形状測定1試料1ヶ所につき1,760
E0260形状評価1寸法につき220

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号設備機器名メーカー・型式使用料(円)
E7830表面形状測定装置東京精密 サーフコム NEX241 SD2-131,980

メーカー

株式会社東京精密

型番

SURFCOM NEX 241 SD2-13

仕様

駆動範囲X軸:100mm、 Z軸:450mm
測定範囲(Z軸)粗さ:1000μm、 形状:60mm、 ハイブリッド:13mm(50mm測定子使用時)、26mm(100mm測定子使用時)
測定分解能粗さ:0.1~20nm、 形状:0.04μm、 ハイブリッド:0.9nm(50mm測定子使用時)、1.8nm(100mm測定子使用時)

規格

JIS2013、JIS2001、JIS1994、JIS1982、ISO2009、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME2009、ASME2002/1995、CNOMO に準拠

導入年度

令和3年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:情報・生産技術部 加工評価グループ
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