電子線マイクロアナライザ(FE−EPMA)

この装置について


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EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)は、細く絞った電子線を試料の表面に走査・照射して、発生するX線、二次電子、反射電子を検出することで微小領域(μm以下)の元素分析や10万倍程度の高倍率な画像を得る装置です。
弊所が保有する装置は電界放射型(Field Emission : FE)の電子銃を備えるFE-EPMAです。FE-EPMAは電子ビームが従来型のEPMAに比べ非常に細く、0.1 ミクロン単位の狭い領域を分析できます。
波長分散型X線分光器(WDS)とエネルギー分散型X線分光器(EDS)を同一のソフトウエアで制御可能なため、両者のメリットが集約されたシームレスな同時分析(WDS/EDSインテグレーションシステム分析)が可能です。

用途・特徴について

微小領域において高感度の元素分析が可能なこと、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材料を対象にできることから、自動車関連、電子部品、産業機器、船舶設備、航空・宇宙、化学、資源エネルギー、地質分野など幅広い分野の故障解析や研究、製品開発等に活用されています。
接点不良、腐食、微小な異物・付着物等の不良解析、めっき・コーティングの膜厚や層構造(断面試料を作製する必要あり)、製品変色等の調査に対応できますので、お気軽にお問い合わせください。

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E2570電子線マイクロアナライザ観測(FE-EPMA)1ヶ所につき29,370
E2580表面観察(FE-EPMAによる)1ヶ所につき20,020
E2581エネルギー分散型X線分析(EDX)(FE-EPMAによる)1ヶ所につき(E2570,E2580に適用)7,150
E2582表面観察(FE-EPMAによる)1ヶ所増同一試料で1ヶ所増すごとに(E2570,E2580に適用)4,400
E2590電子線マイクロアナライザ観測(FE-EPMA)追加分析1ヶ所につき(E2570,E2580に適用)9,130

メーカー

日本電子株式会社

型番

JXA-iHP200F

仕様

加速電圧:1~30 kV/照射電流範囲:1 pA~3 µA/WDX5ch/EDX/分析元素B~U/
二次電子分解能:2.5 nm/分析条件二次電子分解能:20 nm(10 kV、10 nA)、50 nm(10 kV、100 nA)/
試料寸法:標準的な試料ホルダを使用する場合、Φ32x15 mm(H)以内となります。特殊なホルダを使用することにより、最大 100 mm x 100 mm x 50 mm(H)まで対応可能です。

導入年度

令和3年度

補助金等

本装置は令和3年度に公益財団法人JKAによる補助を受けて導入しました

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:機械・材料技術部 解析評価グループ
  • その他の技術相談はこちらから
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