スピンコーター

用途・特徴について

フォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の塗布（スピンコート）

ご利用方法

試験計測（依頼試験） , 技術開発受託（受託研究） で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料（円）
E1191	高精度フォトリソグラフィ	１枚につき	25,300
E1192	高精度フォトリソグラフィ　１枚増	１枚増すごとに	9,020
E1201	電子線リソグラフィ試料調製	１試料につき	9,350

メーカー

ミカサ株式会社

型番

本体1H-DX2型

仕様

試料ホルダ4インチ角、3インチ○、2インチ○、10ミリ角／設置環境　クリーンルーム（クラス1,000）、イエロールーム、有機溶剤用ドラフト内

導入年度

平成9年度