スピンコーター
用途・特徴について
フォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の塗布(スピンコート)ご利用方法
試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。*試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (試験計測料金)
項目番号 | 項目 | 単位 | 手数料(円) |
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E1191 | 高精度フォトリソグラフィ | 1枚につき | 25,300 |
E1192 | 高精度フォトリソグラフィ 1枚増 | 1枚増すごとに | 9,020 |
E1201 | 電子線リソグラフィ試料調製 | 1試料につき | 9,350 |
メーカー
ミカサ株式会社型番
本体1H-DX2型仕様
試料ホルダ4インチ角、3インチ○、2インチ○、10ミリ角/設置環境 クリーンルーム(クラス1,000)、イエロールーム、有機溶剤用ドラフト内
導入年度
平成9年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ
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