膜厚計(日本真空技術・Dektak-3030ST)

用途・特徴について

膜厚測定/表面形状測定

メーカー

日本真空技術株式会社

型番

Dektak-3030ST

仕様

走査距離50μm-50mm/触針半径2.5μm/最大サンプル厚み45mm/サンプリング時間1~50秒/触針圧1~40mgf

導入年度

平成4年度
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