イオンプレーテング実験装置

用途・特徴について

薄膜製造

ご利用方法

試験計測（依頼試験） で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料（円）
E1156	真空蒸着	標準１試料当たり	37,510
E1157	真空蒸着　１条件増	１条件増すごとに	18,150
E1160	イオンプレーティング成膜	標準１試料当たり	50,160
E1170	イオンプレーティング成膜　１条件増	１条件増すごとに	19,250

メーカー

日本真空技術株式会社

型番

DRP-40E

導入年度

昭和58年度