イオンプレーテング実験装置

【用途・特徴】
薄膜製造

用途・特徴について

薄膜製造

ご利用方法

試験計測(依頼試験) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

料金について

この機器を使用した依頼試験の料金は以下の通りです。

真空蒸着
真空蒸着 1条件増
真空蒸着
真空蒸着 1条件増
イオンプレーティング成膜
イオンプレーティング成膜 1条件増

メーカー

日本真空技術株式会社

型番

DRP-40E

導入年度

昭和58年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子材料グループ
  • その他の技術相談はこちらから
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