イオンプレーテング実験装置
用途・特徴について
薄膜製造ご利用方法
試験計測(依頼試験) で利用できます。*試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (試験計測料金)
項目番号 | 項目 | 単位 | 手数料(円) |
---|---|---|---|
E1156 | 真空蒸着 | 標準1試料当たり | 37,510 |
E1157 | 真空蒸着 1条件増 | 1条件増すごとに | 18,150 |
E1160 | イオンプレーティング成膜 | 標準1試料当たり | 50,160 |
E1170 | イオンプレーティング成膜 1条件増 | 1条件増すごとに | 19,250 |
メーカー
日本真空技術株式会社型番
DRP-40E導入年度
昭和58年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ
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