電気炉

半導体プロセス/熱処理/酸化/拡散/シンター

メーカー名

光洋リンドバーグ株式会社

型番

272M100

仕様

温度400~1200℃/安定性±0.25℃/均熱長350mm/N2、O2、Ar雰囲気/炉心管直径50mm

ご利用方法

機器使用で利用できます

料金について

導入年度

昭和63年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ