電気炉

用途・特徴について

半導体プロセス／熱処理／酸化／拡散／シンター

ご利用方法

機器使用 で利用できます。

　*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号	設備機器名	メーカー・型式	使用料（円）
E6620	電極形成装置の本体システム	ＫＨエレクトロニクス　特別仕様	18,480

メーカー

光洋リンドバーグ株式会社

型番

272M100

仕様

温度400～1200℃／安定性±0.25℃／均熱長350mm／N₂、O₂、Ar雰囲気／炉心管直径50mm

導入年度

昭和63年度