電気炉
用途・特徴について
半導体プロセス/熱処理/酸化/拡散/シンターご利用方法
機器使用 で利用できます。*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (機器使用料金)
項目番号 | 設備機器名 | メーカー・型式 | 使用料(円) |
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E6620 | 電極形成装置の本体システム | KHエレクトロニクス 特別仕様 | 18,480 |
メーカー
光洋リンドバーグ株式会社型番
272M100仕様
温度400~1200℃/安定性±0.25℃/均熱長350mm/N2、O2、Ar雰囲気/炉心管直径50mm
導入年度
昭和63年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子デバイスグループ
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