アッシャー装置

用途・特徴について

半導体製造プロセス装置/レジストの灰化/表面処理

ご利用方法

試験計測（依頼試験） , 機器使用 で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料（円）
E1180	アッシャーによるプラズマ処理	１条件１時間につき	17,820

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号	設備機器名	メーカー・型式	使用料（円）
E6880	アッシャー装置	東京応化工業　OPM-EM600	12,540

メーカー

東京応化工業株式会社

型番

OPM-EM600

仕様

振周波数13.56MHz/発振最大出力500W(オートチューニング)/酸素またはCF₄導入可能/
最大基板サイズ：4インチ、治具を用意いただければ多数枚処理可能です。

導入年度

平成4年度