アッシャー装置
用途・特徴について
半導体製造プロセス装置/レジストの灰化/表面処理ご利用方法
試験計測(依頼試験) , 機器使用 で利用できます。*試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。
*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (試験計測料金)
項目番号 | 項目 | 単位 | 手数料(円) |
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E1180 | アッシャーによるプラズマ処理 | 1条件1時間につき | 17,820 |
■ 料金表 (機器使用料金)
項目番号 | 設備機器名 | メーカー・型式 | 使用料(円) |
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E6880 | アッシャー装置 | 東京応化工業 OPM-EM600 | 12,540 |
メーカー
東京応化工業株式会社型番
OPM-EM600仕様
振周波数13.56MHz/発振最大出力500W(オートチューニング)/酸素またはCF4導入可能/
最大基板サイズ:4インチ、治具を用意いただければ多数枚処理可能です。
導入年度
平成4年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部
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