非接触ミクロン厚さ測定機

用途・特徴について

梁や板の部分の厚み及び穴の深さ及び段差を非接触(光学式)で局所的に測定できます。MEMSサンプルの寸法測定に有効。

メーカー

ユニオン光学株式会社

型番

THS-1

仕様

深さ方向測定分解能0.1μm、厚さ測定範囲0～10mm、光学式焦点位置検出方式

導入年度

平成10年度