非接触ミクロン厚さ測定機 用途・特徴について 梁や板の部分の厚み及び穴の深さ及び段差を非接触(光学式)で局所的に測定できます。MEMSサンプルの寸法測定に有効。 メーカー ユニオン光学株式会社 型番 THS-1 仕様 深さ方向測定分解能0.1μm、厚さ測定範囲0~10mm、光学式焦点位置検出方式 導入年度 平成10年度 この装置に関連するお問い合わせ 担当:電子技術部 その他の技術相談はこちらから