低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）

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透過電子顕微鏡（TEM）サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

極低加速エネルギー(100eV～2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去

試験計測（依頼試験） , 機器使用 , 技術開発受託（受託研究）で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究）の詳細についてはこちらをご確認ください。

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料（円）
K4180	低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）	１試料１条件につき	13,530

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号	設備機器名	メーカー・型式	使用料（円）
K2425	低エネルギーイオン研磨装置　Model IV5（ジェントルミル）　（１時間あたり）	リンダ社 Model IV5（ジェントルミル）	11,000

リンダ社

Model Ⅳ5

平成24年度