低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）
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透過電子顕微鏡（TEM）サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。
【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV～2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去
【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV～2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去
用途・特徴について
極低加速エネルギー(100eV～2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去ご利用方法
試験計測（依頼試験） , 機器使用 , 技術開発受託（受託研究） で利用できます。*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。
*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。
料金について
この機器を使用した依頼試験の料金は以下の通りです。
| 低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル） |
メーカー
リンダ社型番
Model Ⅳ5導入年度
平成24年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当：川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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