低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)


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透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV~2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去

用途・特徴について

極低加速エネルギー(100eV~2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 機器使用 , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

料金について

この機器を使用した依頼試験の料金は以下の通りです。

低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)

メーカー

リンダ社

型番

Model Ⅳ5

導入年度

平成24年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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