低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)
この装置について
透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。
用途・特徴について
極低加速エネルギー(100eV~2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去ご利用方法
試験計測(依頼試験) , 機器使用 , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。*試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。
*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (試験計測料金)
項目番号 | 項目 | 単位 | 手数料(円) |
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K4180 | 低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル) | 1試料1条件につき | 13,530 |
■ 料金表 (機器使用料金)
項目番号 | 設備機器名 | メーカー・型式 | 使用料(円) |
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K2425 | 低エネルギーイオン研磨装置 Model IV5(ジェントルミル) (1時間あたり) | リンダ社 Model IV5(ジェントルミル) | 11,000 |
メーカー
リンダ社型番
Model Ⅳ5導入年度
平成24年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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