高分解能分析走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS）

この装置について

用途・特徴について

・ 光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。
・ 80倍から50万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・ 付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。

立会い観察分析も可能です。
♣　撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣　データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣　画像データはその場でお渡しできます。

応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察＆分析　→　断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察　→　ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察　→　断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察　→　その他

ご利用方法

試験計測（依頼試験） , 技術開発受託（受託研究） で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料（円）
K1310	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１試料１視野観察につき	20,240
K1315	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下１視野追加	観察倍率５万倍以下　同一試料において１視野追加観察につき	4,400
K1320	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍を超えて10万倍以下	観察倍率５万倍を超えて10万倍以下 　１試料１視野観察につき	29,260
K1325	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍を超えて10万倍以下　１視野追加	観察倍率５万倍を超えて10万倍以下　同一試料において１視野追加観察につき	8,910
K1330	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　10万倍を超えるもの	観察倍率10万倍を超えるもの　１試料１視野観察につき	51,920
K1335	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　10万倍を超えるもの　１視野追加	観察倍率10万倍を超えるもの　同一試料において１視野追加観察につき	14,630
K1392	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　10～15視野	１試料の観察視野が10～15視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）	112,860
K1395	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　16～30視野	１試料の観察視野が16～30視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）	169,290
K1342	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　低真空モード	低真空モードの使用	11,220
K1343	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　STEM	透過像観察機能（STEM）の使用	11,220
K1340	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　１条件追加	１条件追加につき	11,220
K1345	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　Arクリーナー	Arクリーナーの使用10分につき	2,200
K1350	高分解能分析FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　点分析	点分析１視野１箇所につき	16,830
K1351	高分解能分析FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　点分析追加	点分析同一視野内で１箇所追加につき	5,500
K1352	高分解能分析FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　線分析	線分析１視野１箇所につき	22,550
K1353	高分解能分析FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　線分析追加	線分析同一視野内で１箇所追加につき	8,470
K1354	高分解能分析FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　面分析	面分析１視野につき	33,770
K1356	高分解能分析FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　各種データ処理	各種データ処理１条件につき	5,500

メーカー

日本電子株式会社

型番

JSM-7800F　Prime

仕様

FE-SEM	分解能：0.7nm（15kV）、0.7nm（1kV）、3.0nm（5kV、WD10ｍｍ、5nA） 検出器：上方検出器（UED）、上方二次 　　　　 電子検出器（USD）、下方検出器（LED)、反射電子検出器（BED） 試料交換サイズ：100mm径（最大）
EDS	サーモフィッシャーサイエンティフィック NORAN　System 7
その他	STEM観察、低真空観察、GB観察
分析モード	点分析、線分析、面分析
分析対象元素	B～U

導入年度

平成26年度