高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)


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最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。

検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。

【用途・特徴】
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。

立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察&分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他

用途・特徴について

・ 光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。
・ 80倍から50万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・ 付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。

立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察&分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

料金について

この機器を使用した依頼試験の料金は以下の通りです。

高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下1視野追加
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下 1視野追加
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの 1視野追加
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10~15視野
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 16~30視野
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 低真空モード
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 STEM
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 1条件追加
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 Arクリーナー
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下1視野追加
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下 1視野追加
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの 1視野追加
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10~15視野
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 16~30視野
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 低真空モード
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 STEM
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 1条件追加
高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 Arクリーナー
高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 点分析
高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 点分析追加
高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 線分析
高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 線分析追加
高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 面分析
高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 各種データ処理

メーカー

日本電子株式会社

型番

JSM-7800F Prime

仕様

FE-SEM分解能:0.7nm(15kV)、0.7nm(1kV)、3.0nm(5kV、WD10mm、5nA) 検出器:上方検出器(UED)、上方二次      電子検出器(USD)、下方検出器(LED)、反射電子検出器(BED) 試料交換サイズ:100mm径(最大)
EDSサーモフィッシャーサイエンティフィック NORAN System 7
その他STEM観察、低真空観察、GB観察
分析モード点分析、線分析、面分析
分析対象元素B~U

導入年度

平成26年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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