高分解能分析走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS）
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最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。
検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。
【用途・特徴】
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。
立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。
応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察＆分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他
検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。
【用途・特徴】
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。
立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。
応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察＆分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他
用途・特徴について
・ 光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。・ 80倍から50万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・ 付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。
立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。
応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察＆分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他
ご利用方法
試験計測（依頼試験） , 技術開発受託（受託研究） で利用できます。*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。
料金について
この機器を使用した依頼試験の料金は以下の通りです。
メーカー
日本電子株式会社型番
JSM-7800F Prime仕様
| FE-SEM | 分解能：0.7nm（15kV）、0.7nm（1kV）、3.0nm（5kV、WD10ｍｍ、5nA） 検出器：上方検出器（UED）、上方二次 電子検出器（USD）、下方検出器（LED)、反射電子検出器（BED） 試料交換サイズ：100mm径（最大） |
|---|---|
| EDS | サーモフィッシャーサイエンティフィック NORAN System 7 |
| その他 | STEM観察、低真空観察、GB観察 |
| 分析モード | 点分析、線分析、面分析 |
| 分析対象元素 | B～U |
導入年度
平成26年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当：川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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