高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)
この装置について
最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。
検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。
検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。
用途・特徴について
・ 光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。・ 80倍から50万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・ 付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。
立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。
応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察&分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他
ご利用方法
試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。*試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (試験計測料金)
項目番号 | 項目 | 単位 | 手数料(円) |
---|---|---|---|
K1310 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下 | 観察倍率5万倍以下 1試料1視野観察につき | 20,240 |
K1315 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下1視野追加 | 観察倍率5万倍以下 同一試料において1視野追加観察につき | 4,400 |
K1320 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下 | 観察倍率5万倍を超えて10万倍以下 1試料1視野観察につき | 29,260 |
K1325 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下 1視野追加 | 観察倍率5万倍を超えて10万倍以下 同一試料において1視野追加観察につき | 8,910 |
K1330 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの | 観察倍率10万倍を超えるもの 1試料1視野観察につき | 51,920 |
K1335 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの 1視野追加 | 観察倍率10万倍を超えるもの 同一試料において1視野追加観察につき | 14,630 |
K1392 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10~15視野 | 1試料の観察視野が10~15視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る) | 112,860 |
K1395 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 16~30視野 | 1試料の観察視野が16~30視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る) | 169,290 |
K1342 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 低真空モード | 低真空モードの使用 | 11,220 |
K1343 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 STEM | 透過像観察機能(STEM)の使用 | 11,220 |
K1340 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 1条件追加 | 1条件追加につき | 11,220 |
K1345 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 Arクリーナー | Arクリーナーの使用10分につき | 2,200 |
K1350 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 点分析 | 点分析1視野1箇所につき | 16,830 |
K1351 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 点分析追加 | 点分析同一視野内で1箇所追加につき | 5,500 |
K1352 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 線分析 | 線分析1視野1箇所につき | 22,550 |
K1353 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 線分析追加 | 線分析同一視野内で1箇所追加につき | 8,470 |
K1354 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 面分析 | 面分析1視野につき | 33,770 |
K1356 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 各種データ処理 | 各種データ処理1条件につき | 5,500 |
メーカー
日本電子株式会社型番
JSM-7800F Prime仕様
FE-SEM | 分解能:0.7nm(15kV)、0.7nm(1kV)、3.0nm(5kV、WD10mm、5nA) 検出器:上方検出器(UED)、上方二次 電子検出器(USD)、下方検出器(LED)、反射電子検出器(BED) 試料交換サイズ:100mm径(最大) |
---|---|
EDS | サーモフィッシャーサイエンティフィック NORAN System 7 |
その他 | STEM観察、低真空観察、GB観察 |
分析モード | 点分析、線分析、面分析 |
分析対象元素 | B~U |
導入年度
平成26年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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