先進環境材料・デバイス創製スクールGRENE Project

開講日

平成27年7月２１日（火） 9：30～17：15

会場

ナノテクノロジーリサーチセンター（NTRC）
早稲田大学研究開発センター内　（新宿区早稲田鶴巻町513番地）
◆ 最寄駅　東京メトロ東西線 「早稲田」駅から徒歩5分

定員

★お申し込み受付けは終了いたしました。

このような方にご受講をお勧めします
これからマイクロ・ナノスケールの加工技術に取り組みたい
射出成形、めっき、印刷、精密測定・・・・自社の技術を、微細加工分野に活かしたい。またその可能性を探りたい
バイオチップや超小型センサーなどの開発に着手したい
マイクロ・ナノスケールの技術を改めて体系的に勉強してみたい
材料・計測機器・半導体関連・電子部品などの開発に携わる方・・・など

受講料

９,０００円 （教材費用を含む実費・税込）

開催にあたって

年々めざましい進化を遂げながら、実用化、製品化に結びつきにくいイメージがつきまとうMEMSやナノテクの技術。実はいま“小さな“ところから環境や人への「やさしさ」を実現する可能性に注目が集まります。

 たとえば、白色LEDを使った長寿命の電球や発電床など、話題の「省エネ」、「創エネ」商品。分子の形状や原子の並び方まで、材料を精密に制御する技術が性能向上の鍵を握ります。また自動車には、ごくわずかな振動や温度変化などを感知する超小型センサーを搭載し、エネルギーの無駄遣いを減らす上、発電する試みも始まっています。

 　一方、一滴の血液で迅速に正確な検査ができる小型チップ、人体へのダメージを最小限に抑える極細の無痛針や特殊なメスなど、臨床現場で高まる新しい医療用機器への要望。製造工程を減らし、設備投資を抑え、既存技術の応用で早く、安く、高性能の製品を作るための工夫が必要になります。

 本講座では、実用的な視点とともに微細加工技術の基礎を学びます。自社技術を活かし、これからの社会に貢献する製品の開発を目指す方にお薦めしたい内容です。

プログラム編成者インタビュー

ナノテク の開発動向やこの講座で学べることなどを編成者が紹介します。

早稲田大学 ナノテクノロジーリサーチセンター 関口 哲志 教授のインタビューを下 記からご覧いただけます。

別サイト（youtube）にリンクします。
音声が出ますので、ご注意ください。

カリキュラム内容と日程

７月２1日（火）
9:30～	ガイダンス
	早稲田大学　研究院教授　関口　哲志　氏
10：00～11：00	薄膜で重ねる機能　マイクロからナノサイズの加工技術① 　　　　  真空成膜技術の基礎
	私たちのまわりに有る多くの電子機器は、半導体やフラットパネルなど薄膜を使った高度な部品により作られ、 省エネルギー技術もその多くは薄膜により実現されている。ここでは薄膜の作成に必要な真空技術から成膜技術 まで幅広く基礎的な解説を行う。
	アリオス株式会社　代表取締役　有屋田　修　氏
11：15～12：15	基板を貼り合わせる、積層する、はずす 　　　　  マイクロからナノサイズの加工技術②　接合・パッケージングの基礎
	極小のものづくりでは、微細加工された基板どうしを精密に「位置合わせ」し「はりあわせる」技術が肝要になる。また より高機能なデバイスを実現するために複数の基板を積層したり、その一方で仮貼り合わせした基板を加工後に支持基板から「はずす」という技術も必要になる。微小加工に必須の接合技術を紹介する。
	イーヴィグループジャパン株式会社　テクノロジー部　黒瀧　宏和　氏
昼休み　12：15～13：15
13：15～14：15	見ながら、作る　マイクロからナノサイズの加工技術③ 　　　　  FIB-SEMを用いた精密三次元加工の基礎
	材料の微細な構造や形状を観察するための試料作りに用いていたFIB。SEMと一体化することにより、マイクロスケールでの三次元直接加工と観察を同時に行えるようになった。本講義では、FIBの基礎からFIB-SEMを使った応用までを紹介する。
	株式会社日立ハイテクノロジーズ　 科学システム設計開発本部　電子顕微鏡第二設計部　笹氣　正司　氏
14:30～15：30	自動車業界におけるMEMSデバイスの製品・開発事例
	自動車の制御システムはセンサ、マイコン、アクチュエータで構成されており、環境・安全面などで進化を支えてきた。本講義ではMEMSデバイスのセンサ製品例として、エンジン制御用圧力センサ、エアバッグ用加速度センサを、またアクチュエータ開発例として、レーザレーダ・ヘッドアップディスプレイ用ミラーを紹介する。
	株式会社デンソー　基礎研究所　研究企画室　室長　竹内　幸裕　氏
15:45～16：45	ナノインプリント技術の基礎と応用例
	微細モールドを使ってパターン形状を転写するナノインプリントは電子デバイス製造プロセスのコストダウンやデバイスそのものの高付加価値化を実現する技術である。本講義ではナノインプリントの基本的な原理や、アプリケーションへの採用例を紹介する。
	株式会社協同インターナショナル　電子部　大井　秀雄　氏
16:45～17：15	交流会
	講師や参加者の方々を交えての意見交換などを予定しています。

※ 内容については、予告なく変更する場合があります。 　　　※講義中の録画・写真撮影・録音は堅くお断りいたします。
※ 昼休みは１時間ですが校内には食堂がございません。　教室は飲食可能とさせていただきますので各自で昼食のご用意をお願いします。

お申し込み

お申し込み受け付けは終了いたしました。
ありがとうございました。

企画

早稲田大学

運営

（公財）神奈川科学技術アカデミー

問い合わせ先
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