【募集中】ナノファブスクエア「第６回陽極接合」

ナノファブスクエアin海老名について
　慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムでは、 川崎市、KISTECと連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBIC』において、4大学の先端機器によるナノファブスクエアを開催しています。 
　ナノファブスクエアin海老名では、4回の講習・実習会を開催し、「首都圏地下鉄路線網シリコンマイクロ流路」をモデルチップとし、シリコン酸化、シリコン異方性エッチング、ナノパターン形成および陽極接合について学ぶことができます。

第６回陽極接合
　ガラスとマイクロ流路を形成したシリコン基板を陽極接合する講義・実習を行います。陽極接合は、シリコンMEMSチップ実装の封止に使用される技術です。

ナノファブスクエアin海老名 第6回陽極接合
装置：陽極接合装置

令和４年６月２３日（木）　　１３：３０～１６：３０

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受講料支払い方法

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　原則、申込締切日以降に請求書を郵送いたします。
　請求書に記載されている指定の口座に、開講日までにお振り込みください。
　開講日までのお振り込みが難しい場合は、事務局までご連絡ください。

キャンセルについて

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　原則、キャンセルはお受けいたしかねます。
　やむを得ない事情によりキャンセルをご希望される場合は、
　令和4年6月7日(火)までに事務局にご連絡ください。

新型コロナウイルス感染症について

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　KISTECでは、神奈川県の方針に従い、新型コロナウイルス感染症拡大防止対策を進めております。
　・マスク着用、手指消毒、ソーシャルディスタンスの確保等にご協力ください。
　・クリーンルームでは、フェイスシールドの着用をお願いいたします。
　・風邪の症状、発熱、倦怠感、息苦しさがある方はご来所をお控えください。
　　注）受付時に健康状態の確認をさせていただいております。該当する症状がある方は、大変恐れいりますが、ご入所をご遠慮いただきます。

 申込方法 　

重要（次の事項をご確認の上、お申込みください）

◇申込締切後、受講決定者には受講料請求書等の必要書類を郵送します。 ◇許可なく講義内容の一部、およびすべてを複製、転載または撮影、配布、印刷など、第三者の利用に供することを禁止します。 ◇やむを得ない事情により、日程・内容等の変更や中止をする場合があります。 ◇保証書に必要事項をご記入の上、参加日当日にご持参ください。 ◇当日は、13:10より受付開始とさせていただきます。

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お問合せ

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　（地独）神奈川県立産業技術総合研究所　人材育成部　教育研修課　産業人材研修グループ
　　TEL　046-236-1500　　Eｰmail　sm_sangyoujinzai[at]kistec.jp 　※[at]を＠に変換してください。