X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドスキャンのみ)

極表面に、どのような元素が存在するか分析することができます。
試料表面の極薄い層(数nm)の元素分析(水素、ヘリウム以外)、半定量分析(検出限界~0.1at%程度)を行います。
金属や半導体、酸化物、セラミックス、有機物などの絶縁物試料等、超高真空試料室内に導入可能なあらゆる固体が対象です。

アルバック・ファイ社製 Quantera SXM
・ビーム径9µm~200μmでの微小部分析
・試料サイズW70×D70×H18mm 以下

用途・応用例
・目視、顕微鏡では確認できない表面の汚染、吸着、付着物分析
・表面改質評価
・金属薄膜の組成、化学結合状態の評価
・物質表面のしみ、変色分析
・電子材料の故障解析
・光触媒の劣化解析

料金について

令和6年4月1日に試験計測等料金が改訂されました。新料金表示の対応が完了するまではPDFファイル(試験計測等料金表(1MB))をご確認ください。
料金表番号試験名単位料金
K5002X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドスキャンのみ)1試料1ヶ所につき(ワイドスキャンのみ)26,950円
K5005X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドスキャンのみ 追加試料)追加1試料1ヶ所につき(ワイドスキャンのみ)21,230円
K5007X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドスキャンのみ 条件増)1条件増すごとに(ワイドスキャンのみ)5,610円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部 材料解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 材料解析分野 | 機器分析 走査型X線光電子分光分析装置(μ-XPS・μ-ESCA)
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 材料解析グループ