三次元微細形状測定

項目 内容
項目番号 E1051
単位 標準1測定当たり
手数料 12,430円
担当部署 電子技術部 
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験
内容 触針を用いて三次元微細形状、段差、膜厚、粗さを測定します。
補足説明
該当する機器名 膜厚計(小坂研究所・ET4000AKR)
試験対象 電子材料
備考 標準1測定当たり
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