高分解能(1nm以下)フォトルミネッセンス測定

項目 内容
項目番号 E1070
単位 1試料1条件につき
手数料 83,160円
担当部署 電子技術部 
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験
内容 半導体中の不純物(ドーピング元素)をスペクトルピーク値から定性分析し、ピーク強度から半定量分析します。
補足説明 Arイオンレーザー照射、4.5~5Kの極低温での評価
該当する機器名 フォトルミネッセンス測定装置
試験対象 シリコン、ガリウム砒素
備考 1試料1条件につき
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