イオンプレーティング成膜

項目 内容
項目番号 E1160
単位 標準1試料当たり
手数料 50,160円
担当部署 電子技術部 
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験
内容 イオンプレーティング法を用いて行う成膜であるので、成膜時の圧力を上げることにより細溝側面の成膜が可能となり、かつ、基板バイアス等を制御することにより薄膜の付着力の向上が可能となります。
補足説明 微細立体構造の側面を含めた電極形成
該当する機器名 イオンプレーテング実験装置
試験対象 電子材料
備考 標準1試料当たり
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