E1190

項目 内容
試験名 ECRプラズマエッチング
単位 標準1試料当たり
手数料 46640円
担当部署 電子技術部 
 
分類 Array
内容 プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴) によりプラズマを発生させます。
補足説明 例)GaAsのエッチング等
機器番号
試験対象 電子材料
備考 電子材料
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