ECRプラズマエッチング

項目 内容
項目番号 E1190
単位 標準1試料当たり
手数料 48,070円
担当部署 電子技術部 
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験
内容 プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴) によりプラズマを発生させます。
補足説明 例)GaAsのエッチング等
該当する機器名 ECRプラズマエッチング装置
試験対象 電子材料
備考 標準1試料当たり
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