高精度フォトリソグラフィ 1枚増 

項目 内容
項目番号 E1192
単位 1枚増すごとに
手数料 9,020円
担当部署 電子技術部 
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験
内容 UV露光による感光性樹脂への高精度転写 両面パターンにも対応可
補足説明 1μm以下の微細パターンの形成が高い重ね合わせ精度により加工が可能です。 応用例:LED用基板、MEMSデバイス、マイクロ金型、マイクロ流体デバイス(μ-TAS)、レジストの高アスペクト比加工、薄膜パターニングなど
該当する機器名 両面マスクアライナ(手動式マスクアライナ/紫外線露光装置) スピンコーター
試験対象 ウエハサイズ:2cm角から6インチφまで対応 マスクサイズ:4、5、7インチ角に対応 バキューム/ハード/ソフトコンタクト、プロキシミティ露光に対応(サンプルによる制限あり)
備考 1枚増すごとに
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