電子線リソグラフィ

項目 内容
項目番号 E1200
単位 1時間当たり
手数料 10,120円
担当部署 電子技術部 
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験
内容 電子線リソグラフィによる電子線レジスト樹脂への高精細パターン形成
補足説明 数十~数百ナノメートルの微細パターンの形成加工や電子線描画処理が可能です。 応用例:研究、開発段階での微細パターンの試作、薄膜パターニング、ナノインプリント用型の形成、微細構造を利用した表面加工(光の反射率低減など)、高周波増幅器、センサー類の作製など
該当する機器名 電子線描画装置 (電子ビーム描画装置/EB描画装置/EB露光装置)
試験対象 ウエハサイズ:3インチφ、4インチφ 小片試料サイズ:10mm角、20mm角、25mm角 マスクサイズ:4インチ角、5インチ角 試料サイズが4インチ以上の場合、試料上でパターン形成ができない場所が一部あります。 現像処理などについては別途の試験「電子線リソグラフィ 試料調整」で対応します。
備考 1時間当たり
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