E1984

項目 内容
試験名 微小部X線光電子分光分析(面分析,線分析)
単位 1試料1ヶ所につき(5元素まで)
手数料 21230円
担当部署 機械・材料技術部 解析評価グループ
 
分類 Array
内容 固体表面にX線を照射して光電効果により放出される光電子の運動エネルギー(EK)と強度を測定する手法である。測定したEKから、各軌道における電子の結合エネルギー(EB)を算出することにより、元素分析が可能である。また、注目原子に結合する原子の種類や結合状態によって、EBはわずかに変化する。この変化を測定することにより化学状態分析もできる。なお、XPSの測定深さは数nm程度である。
補足説明
機器番号
試験対象
備考
so-kizai@kistec.jp
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