電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM / EDS）

・材料の表面形態観察を30倍から80万倍の範囲で観察できます。
・光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
・付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
・低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡（STEM）観察が可能です。

仕様
・分解能：1.0nm（15kV）1.4nm（1kVリターディングモード）
・検出器：二次電子検出器、反射電子検出器
・試料サイズ：最大100mm径
・EDS：Gnensis2000（EDAX製）
・分析モード：点分析, 線分析, 面分析
・分析対象元素：B～U
・その他：透過電子検出器, EBIC観察ユニット, リターディング観察

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K1010	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１条件につき	21,450円
K1015	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　５万倍以下　条件追加	観察倍率５万倍以下　１条件追加につき	4,950円
K1020	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　５万倍を超えて10万倍以下	観察倍率５万倍を超えて10万倍以下　１条件につき	31,020円
K1025	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　５万倍を超えて10万倍以下　条件追加	観察倍率５万倍を超えて10万倍以下　１条件追加につき	9,680円
K1030	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 10万倍を超えるもの	観察倍率10万倍を超えるもの　１条件につき	52,470円
K1035	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 10万倍を超えるもの　条件追加	観察倍率10万倍を超えるもの　１条件追加につき	15,400円
K1040	FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）	１条件につき	15,400円
K1041	FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　条件追加	１条件追加につき	4,950円
K1042	FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　面分析	面分析１条件につき	16,390円
K1050	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察　10～15視野	１試料の観察視野が10～15視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）	114,400円
K1052	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察　16～30視野	１試料の観察視野が16～30視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）	170,060円
K1055	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察条件追加	１条件追加につき	12,540円