高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）
最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。
特徴
・光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。
・30倍から100万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察することができます。
・STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。
仕様
・分解能：0.7nm（15kV）, 0.7nm（1kV）
・検出器：上方検出器（UED）、上方二次電子検出器（USD）、下方検出器（LED）、反射電子検出器（BED）
・試料サイズ：最大100mm径
・EDS：NORAN System7（サーモフィッシャーサイエンティフィック製）
・分析モード：点分析, 線分析, 面分析
・分析対象元素：B～U
・その他：STEM観察, 低真空観察, GB観察
*同様の試験を海老名本部でも行っております（料金番号：E0011）。
特徴
・光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。
・30倍から100万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察することができます。
・STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。
仕様
・分解能：0.7nm（15kV）, 0.7nm（1kV）
・検出器：上方検出器（UED）、上方二次電子検出器（USD）、下方検出器（LED）、反射電子検出器（BED）
・試料サイズ：最大100mm径
・EDS：NORAN System7（サーモフィッシャーサイエンティフィック製）
・分析モード：点分析, 線分析, 面分析
・分析対象元素：B～U
・その他：STEM観察, 低真空観察, GB観察
料金について
| 料金表番号 | 試験名 | 単位 | 料金 |
|---|---|---|---|
| K1310 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 ５万倍以下 | 観察倍率５万倍以下 １試料１視野観察につき | 21,120円 |
| K1315 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 ５万倍以下１視野追加 | 観察倍率５万倍以下 同一試料において１視野追加観察につき | 4,840円 |
| K1320 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 ５万倍を超えて10万倍以下 | 観察倍率５万倍を超えて10万倍以下 １試料１視野観察につき | 30,910円 |
| K1325 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 ５万倍を超えて10万倍以下 １視野追加 | 観察倍率５万倍を超えて10万倍以下 同一試料において１視野追加観察につき | 9,240円 |
| K1330 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 10万倍を超えるもの | 観察倍率10万倍を超えるもの １試料１視野観察につき | 52,250円 |
| K1335 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 10万倍を超えるもの １視野追加 | 観察倍率10万倍を超えるもの 同一試料において１視野追加観察につき | 14,960円 |
| K1392 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 10～15視野 | １試料の観察視野が10～15視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る） | 115,940円 |
| K1395 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 16～30視野 | １試料の観察視野が16～30視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る） | 173,910円 |
| K1342 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 低真空モード | 低真空モードの使用 | 11,220円 |
| K1343 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 STEM | 透過像観察機能（STEM）の使用 | 11,220円 |
| K1340 | 高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS） SEM観察 １条件追加 | １条件追加につき | 11,220円 |
| K1350 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS） 点分析 | 点分析１視野１箇所につき | 17,380円 |
| K1351 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS） 点分析追加 | 点分析同一視野内で１箇所追加につき | 5,170円 |
| K1352 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS） 線分析 | 線分析１視野１箇所につき | 23,540円 |
| K1353 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS） 線分析追加 | 線分析同一視野内で１箇所追加につき | 8,360円 |
| K1354 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS） 面分析 | 面分析１視野につき | 35,860円 |
| K1356 | 高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS） 各種データ処理 | 各種データ処理１条件につき | 5,170円 |
※観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。
使用する機器について
この試験に使用する機器は以下の通りです。
担当部署
川崎技術支援部 微細構造解析グループ*同様の試験を海老名本部でも行っております（料金番号：E0011）。
分類
溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | 高分解能分析走査電子顕微鏡（FE-SEM／EDS）- この試験に関連するお問い合わせ
- 担当：川崎技術支援部 微細構造解析グループ