気液分離膜およびその製造方法

登録ID 163
出願番号 2003-363594
公開番号 2005-125232
公開年月日 2005年05月19日
出願人 神奈川県、東亜ディーケーケー株式会社
発明者 大屋誠志郎、 三橋雅彦
発明の名称 気液分離膜およびその製造方法
国際特許分類(IPC) B01D69/12,B01D69/00,B01D71/04
概要 有機接着剤を用いずに2枚のシリコン基板を接合した気液分離膜およびその製造方法を提供するものです。
備考 特許第4552002号