DLCコーティング部材及びその製造方法

登録ID 205
出願番号 2008-304877
公開番号 2010-126419
公開年月日 2010年06月10日
出願人 神奈川県 、株式会社不二WPC 、株式会社オンワード技研
発明者 加納 眞、堀内 崇弘、熊谷 正夫
発明の名称 DLCコーティング部材及びその製造方法
国際特許分類(IPC) C01B 31/02、C23C 16/27、C23C 16/56、C23C 14/06、C23C 14/58、B24C 11/00
概要 健全で均一な厚さを有すると共に、表面に微細な凹凸形状を備え、大幅な摩擦低減が可能なDLC膜と、このようなDLC膜を備えたDLCコーティング部材、さらにこれらの製造方法を提供するものです。
備考