X線回折装置(薄膜)

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X線回折装置(薄膜)

 

項目 内容
機器名 X線回折装置(薄膜)
利用の仕方
使用料No
分類 分析・評価機器
担当 電子技術部
仕様 入射ビーム光学系:X線ミラーモジュール/X線レンズモジュール受光ビーム光学系:逆格子空間マッピング測定用アナライザー/試料ステージ:5軸モーター制御
用途 結晶構造解析/面内配向性評価/表面反射率測定/多層膜構造解析/極点図/逆格子マッピング/格子定数精密測定
手数料No
/試験名
E2520/X線回折試験(B), E2530/X線回折試験(C)
製造社名 フィリップス
規格 X`Pert-MRD
導入年度 平成14年度

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