微小部X線光電子分光分析装置

この装置について
本装置 は、試料にX線を照射し、試料表面から放出される光電子のエネルギーを測定することにより、表面の組成並びに化学結合状態に関する情報を得る装置です。
用途・特徴について
 ロボットの関節に使う摩擦摩耗特性に優れた摺動材、効率の良い燃料電池やリチウム電池電極、生体適合性の高い材料の開発を支援します。
 プラスチック材料・セラミック材料・金属製品の表面の変色、腐食などの不具合を分析することにより、故障解析を行います。
・最小ビーム径: 10μm以下
・最高エネルギー分解能: 0.5eV以下 (Ag3d 5/2)
・最大感度: 1000000cps (Ag3d 5/2 の半値幅 1.0eVのとき)
・到達圧力: 6.7×10-8Pa以下
・オプション: 加熱冷却ステージ
名称・型番について
微小部X線光電子分光分析装置:アルバックファイ(株):VersaProbeⅡ
利用するには

依頼試験や受託研究でご利用いただけます。担当者までご相談ください。

【問い合わせ先】機械・材料技術部 解析評価チーム