非接触ミクロン厚さ測定機

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非接触ミクロン厚さ測定機、光学式段差計

 

項目 内容
機器名 非接触ミクロン厚さ測定機(光学式厚さ測定器)
利用の仕方  
使用料No
分類 試験・計測機器
担当 電子技術部
仕様 深さ方向測定分解能0.1μm、厚さ測定範囲0~10mm、光学式焦点位置検出方式
用途 梁や板の部分の厚み及び穴の深さ及び段差を非接触(光学式)で局所的に測定できます。MEMSサンプルの寸法測定に有効。。
手数料No
/試験名
製造社名 ユニオン光学(株)
規格 THS-1
導入年度 平成10年度

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