膜厚計
お客様ご自身が使用して、試作・分析を行える機器は 『利用の仕方』欄にがつけてあります。
膜厚計、三次元、微細形状、段差、粗さ
項目 | 内容 |
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機器名 | 膜厚計 |
利用の仕方 | |
使用料No | |
分類 | 試験・計測機器 |
担当 | 電子技術部 |
仕様 | サンプルサイズ:210×210×50mmtX軸(測定長):100mmスケール分解能:0.01μmY2軸(連続測定長):10mmステップ量:0.1μmZ軸(上下動)52mm検出器:最大範囲 100μm測定力 0.5μN?500μN分解能 0.1nm(±3.2μmレンジ) |
用途 | 薄膜の厚さ測定。表面粗さ測定(3次元) |
手数料No /試験名 |
E1051/三次元微細形状測定 |
製造社名 | (株)小坂研究所 |
規格 | ET4000AKR |
導入年度 | 平成18年度 |
- 「使用料」とは
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