膜厚計
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がつけてあります。
膜厚計、三次元、微細形状、段差、粗さ
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 機器名 | 膜厚計 |
| 利用の仕方 | |
| 使用料Ｎｏ | |
| 分類 | 試験・計測機器 |
| 担当 | 電子技術部 |
| 仕様 | サンプルサイズ：210×210×50mmtＸ軸（測定長）：100mmスケール分解能：0.01μmＹ２軸（連続測定長）：10mmステップ量：0.1μmＺ軸（上下動）52mm検出器：最大範囲 100μm測定力 0.5μN?500μN分解能 0.1nm（±3.2μmレンジ） |
| 用途 | 薄膜の厚さ測定。表面粗さ測定（３次元） |
| 手数料Ｎｏ ／試験名 |
E1051／三次元微細形状測定 |
| 製造社名 | （株）小坂研究所 |
| 規格 | ET4000AKR |
| 導入年度 | 平成18年度 |
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