多目的X線回折装置

この装置について
本装置は、複数の測定法を用いることで薄膜結晶構造の評価が多目的に行えます。薄膜材料の密度と膜厚(2~200nm)や結晶配向性の評価が行え、結晶構造を含むデータベースを利用して、未知材料の同定も可能です。
用途・特徴について
薄膜測定では、材料の結晶性に応じて、入射ビーム光学系と受光側光学系を選択し、逆格子マッピングによる格子定数の分布や方位の解析、また、基板垂直方向だけでなく、面内での配向性の評価ができます。これらの測定により、単結晶と多結晶の評価や、基板に対する薄膜の成長方向などが判断できます。更に、材料の深さ方向の結晶性の評価も可能になっています。受光系には2次元検出器を備えていますので、高速な測定が行えます。
名称・型番について
リガク SmartLab
利用するには
  1. 依頼試験
    測定や解析で要する時間により、
    薄膜1試料につき、34,210円、52,910円です(令和2年度料金改定)。
  2. 受託研究
    評価内容などの打ち合わせにより、料金を決定します。  
【問い合わせ先】電子技術部 電子材料グループ