分析透過電子顕微鏡

この装置について
分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)は、多次元に渡る高速組成分析に特化した走査・透過型電子顕微鏡(S/TEM)システムです。
最先端のEDS と高いSTEM、TEM 分解能を備えており、ナノ領域での様々な研究・解析に最適です。
用途・特徴について
【用途】
● マクロからナノレベルの観察、元素分析
● 電子線回折を用いた結晶情報取得
● 電子線耐性が低いソフトマテリアルへの対応
● トモグラフィーシステムを用いた観察画像、元素マッピング画像の三次元化
 〈応用例〉
 ● ナノ微粒子の形態観察
 ● 樹脂と金属の複合材料のマクロ観察
 ● 多層薄膜の断面観察、元素分析
 ● 担持触媒粒子の三次元観察、元素分析

【特徴】
■ 高輝度ショットキーサーマル電界放射銃(X-FEG)
 小さな収束角と高い全ビーム電流が両立されており、
 電流値は通常のショットキー型電子銃と比較し5 倍に達します。
 これにより、高いS/N 比と像分解能が観察・元素分析にもたらされています。

■ Super-X 元素分析システム
 4 個のシリコンドリフト型検出器(SDD)がX 型に配置された
 エネルギー分散型X 線分析装置(EDS)です。
 4 個で実効的な素子面積を増やすことで十分なX 線感度と
 スペクトルの高品質化が実現します。
 また、X 型の配置により、試料が傾斜した状態でもX 線感度が低下しにくい
 機構となっています。

■ 三次元トモグラフィーシステム
 TEM/STEM/EDS による二次元の観察・分析だけでなく、試料を断続的に
 傾斜させて得られる連続傾斜像及びその情報を元に画像を
 三次元的に再構築する機能です。
 二次元から三次元に進化した解析により、新たな物性、界面機能の
 可視化が実現できます。
名称・型番について
名称 分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)
型番 Talos F200X
   Thermo Scientific社製
利用するには

※稼働開始は2020年秋頃を予定。

詳細な利用方法については、担当までお問合せください。

【問い合わせ先】川崎技術支援部